離子氮化爐是利用輝光放電效應(yīng)對金屬零件進行氮化處理用的一種電爐設(shè)備。它是一種新的表面熱處理工藝，對提高鋼鐵零件的耐磨性、耐疲勞和抗腐蝕性具有顯著效果。

　　離子氮化爐的工作原理是：把被處理的工件放在真空容器內(nèi)，并與陰極相連，然后把容器內(nèi)部抽真空到10—1Pa，再沖入少量的氮氫混合奇特。在陰極與陽極之間加上一定電壓直流電，使氣體發(fā)生電離，產(chǎn)生輝光放電。由此產(chǎn)生的氨正離子在電場作用下轟擊工件（陰極），將工件表面加熱到所需溫度，同時在工件表面上奪取電子，與基本金屬形成氨化層。

　　輝光放電是稀薄氣體放電，也是一種自激放電。它和弧光放電的區(qū)別是氣體稀薄，陰極是冷電極，陰極區(qū)壓降較大，其余部位壓降較小。工作時，正離子轟擊陰極，使之發(fā)射電子，在電場作用下電子運動加速，碰撞氣體分子，激發(fā)氣體分子發(fā)光和電離，發(fā)射的電子少，放電電流小，輝光放電的特點是發(fā)光多而發(fā)熱少。日光燈就是輝光放電的一個應(yīng)用實例。

　　在與普通氣體氮化爐相比，離子氮化爐具有以下優(yōu)點：處理周期短，產(chǎn)生效率高，耗電小；零件變形小，氮化層無脆性層，不必在處理后再加工；對材料的適用型較廣；勞動條件好，對環(huán)境污染少。但離子氮化爐用于小孔內(nèi)壁的氨化處理較困難。在離子氨化的基礎(chǔ)上，離子軟氨化離子滲氮供滲和離子滲碳等工藝正在發(fā)展中。