對于低真空測量儀器，尤其是武漢離子氮化爐設(shè)備，目前，國內(nèi)外使用的真空計(jì)有壓縮真空計(jì)、電阻真空計(jì)和膜片真空計(jì)。

　　1.真空測量儀

　　1.壓縮旋轉(zhuǎn)真空計(jì)

　　壓縮旋轉(zhuǎn)式真空計(jì)可用于測量爐內(nèi)不凝氣體的壓力。測量值具有良好的重復(fù)性和準(zhǔn)確性，但不能連續(xù)測量。由于汞的揮發(fā)，不適合長時(shí)間與爐相通。每次測量后，應(yīng)夾緊并密封真空軟管。在沒有正確的測量儀表的情況下，尤其是工藝試驗(yàn)需要精確測量壓力時(shí)。

　　2。電阻真空計(jì)

　　基于熱傳導(dǎo)原理的電阻真空計(jì)是一種相對便宜的儀器。但在離子滲氮的應(yīng)用中，由于氫氣的存在，其導(dǎo)熱系數(shù)與氮?dú)夂涂諝庀嗖罱?倍，所以測量值誤差較大，特別是高壓較強(qiáng)時(shí)，指示值可超出范圍，但也可作為爐極限真空或點(diǎn)火前真空的測試。

　　3.膜片真空計(jì)

　　武漢離子氮化爐設(shè)備配備的隔膜真空計(jì)和國內(nèi)半自動控制離子氮化設(shè)備配備的隔膜真空計(jì)都是在隔膜上安裝應(yīng)變元件形成電橋，規(guī)管一端接基準(zhǔn)真空室，另一端接待測爐體的類型。發(fā)現(xiàn)這種真空計(jì)與被測氣體的成分關(guān)系不大，但存在零點(diǎn)漂移、膜片恢復(fù)時(shí)間長等缺點(diǎn)，且價(jià)格相對較高。

　　2.爐膛壓力控制系統(tǒng)

　　武漢離子氮化爐的氣壓是氣流動態(tài)平衡的結(jié)果。爐膛壓力控制可通過兩種方法實(shí)現(xiàn):固定抽速、調(diào)節(jié)入口流量或不固定入口流量、調(diào)節(jié)抽速。